专利摘要显示，本适用新型涉及晶圆传输手艺范畴，特别是指一种晶圆盒从动开合安拆，包罗安拆架、开合机构以及开合驱动机构，所述开合板取开合驱动机构的输出端毗连，所述夹取部件安拆于开合板，所述开合驱动机构带动开合板前后挪动和上下挪动，以使夹取部件接近或远离晶圆盒的启齿端。本适用新型可以或许腾出其他加工安拆对晶圆盒内晶圆的操做空间，防止开合驱动机构挤压晶圆盒的放置空间，增大晶圆盒的储存工位，提高空间操纵率，从动夹取盒盖，提高晶圆传输的精度和效率，提拔晶圆加工质量。

　　金融界2025年1月20日动静，申请日期为2024年5月。